薄膜机械测厚仪测厚方法

    数据稳定可靠，对试样没有选择性，一般可以分为点接触式和面接触式两类，它与非接触式测厚方法有着本质的区别——能够在进行厚度测量前给试样测量表面施加一定的压力（点接触力或面接触力），这样可以避免在使用非接触式测厚仪测量那些具有一定压缩性、表面高低不平的材料时可能出现数据波动较大的现象。机械测厚仪的测试精度主要取决于测厚元件的精度，其核心元件——测量头及测量面对于微小的振动都十分敏感，所以在有振源的环境中测量精度没有任何意义。为了避免自身的振动，并尽可能地减少外界振动的影响，设备底座都采用重而宽的金属制成，这在一定程度上保证了测厚精度，却也给机械测厚仪的小型化和轻便化带来了一些困难。环境温度和风速同样可以影响传感器的精度，因此必须在实验室环境内使用。机械法测厚仪由于测量头与试样的接触面积不同，测量头的施力不同，施力速度不同，相同的试样（这里假设厚度均匀一致）使用不同类型的测厚仪很可能得到不同的测试结果，这主要是由于可压缩试样在不同的情况下产生的形变率往往不相同。因此，在使用机械测厚仪测试时必须严格执行所参照标准的测试条件和测试要求。

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